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FUJIFILM富士軟片推出壓力感測膠片「圓形 Prescale」

Jun 23,2026 | Adhesive

  • 對應半導體晶圓外型全新圓形設計
  • 簡化晶圓鍵合製程之壓力量測步驟
2026 年 6 月 8 日,富士軟片株式會社宣布全新推出「圓形 Prescale」。本產品採用與半導體晶圓輪廓相符的圓形造型,隸屬壓力感測膠片「Prescale」*1 系列。
富士軟片「Prescale」系列為可輕鬆量測接觸介面之接觸壓力、壓力均勻度與壓力分佈的專用膠片。當表面承受壓力時,膠片會呈現紅色,使用者可透過顏色深淺直觀判斷壓力大小。因此 Prescale 廣泛運用於顯示器、電子元件、汽車、電池、包裝等各行業研發與量產製程。

Prescale 結構說明(雙片式)

受壓時,顯色層內的微膠囊破裂,釋放內部無色染料;染料與顯色劑接觸後產生化學反應,使膠片轉為紅色。
近年半導體製程持續微細化,製造過程的壓力檢測重要性逐年提升。隨人工智慧(AI)與新一代通訊技術發展,半導體朝微型化、堆疊式技術演進,晶圓鍵合這類晶圓 / 晶片接合製程,對於鍵合精度與穩定性規格愈趨嚴格。
 
即使微小的壓力變化,都可能影響半導體元件效能,業界對於鍵合製程高精密壓力均勻度檢測的需求持續攀升。
富士軟片本次發表的「圓形 Prescale」,專為產業標準 12 吋(φ300 mm)晶圓開發。檢測作業無需再裁切膠片以對應晶圓尺寸外型,有效提升檢測效率、節省人力成本。此外「圓形 Prescale」可直接在最高 220°C 高溫環境執行壓力量測,設備加熱狀態下也能精準取得壓力數據。
另外,壓力影像分析軟體「FUJIFILM Prescale Mobile (Prescale Mobile)」*2 已支援「圓形 Prescale」。使用者透過行動裝置拍攝膠片顯色畫面,即可進行數值化分析;專用設備「FUJIFILM Prescale Station(Prescale Station)」*3 也預計於今年 7 月開放支援「圓形 Prescale」,該設備透過高解析工業自動化相機(FA Camera)擷取顯色影像,完成壓力量化分析。
 
左:壓力影像分析設備|右:壓力影像分析軟體,皆可用於壓力定量檢測
 
備註:壓力影像分析設備預計 7 月起支援圓形 Prescale
 
富士軟片持續研發可讓研發、產線檢驗數位化、簡易化的材料與設備,協助客戶提升並穩定產品製造品質。
*1 運用富士軟片精密塗布與微膠囊技術,將壓力、壓力均勻度、壓力分佈視覺化的專用膠片。依量測壓力分為兩大類型:雙片式(顯色劑、發色劑分別塗布於兩片基材)、單片式(顯色劑、發色劑同層塗布於單一基材);「圓形 Prescale」屬雙片式。
 
*2 行動專用分析軟體,運用富士軟片影像技術將 Prescale 顯色影像轉換為量化壓力數據。將受壓顯色後的 Prescale 置於專用校正紙,搭配安裝軟體之行動裝置掃描,即可一次取得最大壓力、最小壓力、平均壓力、受壓面積等共 13 項壓力數據,簡化作業流程,輕鬆完成高精度壓力檢測。
 
*3 專屬壓力影像分析系統,用於解析 Prescale 顯色影像、量化壓力數值。

一、產品名稱、發布日期、規格一覽

 
 
產品名稱 發布日期 建議操作溫度與可測壓力範圍
Round Prescale (φ300mm) LLLW 2026 年 6 月 8 日 20°C~35°C,0.2–0.6 MPa
Round Prescale (φ300 mm) LLW 2026 年 6 月 8 日 20°C~35°C,0.5–2.5 MPa
Round Prescale (φ300 mm) LW 2026 年 6 月 8 日 20°C~35°C,2.5–10.0 MPa
Round Prescale (φ300mm) 高溫用 100 LLLW 2026 年 6 月 8 日 35°C–150°C(雙面加熱)*4,0.2–0.6 MPa
Round Prescale (φ300mm) 高溫用 100 LLW 2026 年 6 月 8 日 35°C–150°C(雙面加熱),0.5–2.5 MPa
Round Prescale (φ300mm) 高溫用 100 LW 2026 年 6 月 8 日 35°C–150°C(雙面加熱),2.5–10.0 MPa
Round Prescale (φ300mm) 高溫用 200 LLLW 2026 年 6 月 8 日 150°C–220°C(雙面加熱),0.2–0.6 MPa
Round Prescale (φ300 mm) 高溫用 200 LLW 2026 年 6 月 8 日 150°C–220°C(雙面加熱),0.5–2.5 MPa
Round Prescale (φ300mm) 高溫用 200 LW 2026 年 6 月 8 日 150°C–220°C(雙面加熱),2.5–10.0 MPa
*4 壓合面雙面加熱之建議溫度

二、「圓形 Prescale」三大核心特色

(1) 對應晶圓外型圓形設計,大幅提升作業效率

「圓形 Prescale」專為 12 吋(φ300 毫米)晶圓尺寸開發,省去壓力量測前置裁切作業,節省工時與人力;產品搭配專用握柄,操作時不會碰觸量測壓力的感測面,優化半導體廠房作業效率。

圓形 Prescale 標準作業流程

  1. 自包裝盒取出圓形 Prescale
  2. 疊合 A 膠片與 C 膠片
  3. 將疊合後的圓形 Prescale 置入待測介面之間並施加壓力
  4. 對照比色卡與校正曲線,直觀確認壓力均勻度

(2) 支援高溫製程壓力量測

圓形 Prescale 系列備有多款耐溫型號,分別對應 35°C~150°C、150°C~220°C 高溫環境量測,可依據產線實際作業溫度選配適合規格。

(3) 搭配量化分析工具,升級壓力檢測品質

可搭配 Prescale Mobile 軟體使用,透過解析膠片顯色影像量化壓力數值,簡易流程協助廠商快速判斷壓力均勻度,提升檢驗效率、強化品質管控。
 
另外專屬壓力影像分析設備 Prescale Station,也預計於今年 7 月全面支援圓形 Prescale。
 
内容來源:FUJIFILM

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